Бул аспап контактсыз, оптикалык фазалык жылышуучу интерферометриялык өлчөө ыкмасын кабыл алат, өлчөө учурунда бөлүктүн бетине зыян келтирбейт, ар кандай дайындамалардын беттик микротопографиясынын үч өлчөмдүү графикасын тез өлчөй алат жана өлчөөнү талдап, эсептей алат. натыйжалар.
Продукт Description
Өзгөчөлүктөрү: Ар кандай калибрлүү блоктордун жана оптикалык бөлүктөрүнүн бетинин тегиздигин өлчөө үчүн ылайыктуу; сызгычтын жана цифербинин торчосунун тереңдиги; тордун оюгу түзүмүнүн каптамасынын калыңдыгы жана каптоо чегинин структуралык морфологиясы; магниттик (оптикалык) дисктин бети жана магниттик баштын түзүмүн өлчөө; кремний пластинка бетинин оройлугун жана үлгү түзүмүн өлчөө, ж.б.
Аспаптын жогорку өлчөө тактыгынан улам, ал байланышсыз жана үч өлчөмдүү өлчөө өзгөчөлүктөрүнө ээ жана компьютердик башкарууну жана өлчөө натыйжаларын тез талдоо жана эсептөөнү кабыл алат. Бул аспап тестирлөө жана өлчөө изилдөө бөлүмдөрүнүн бардык деңгээлдерине, өнөр жай жана тоо-кен ишканаларынын өлчөө бөлмөлөрүнө, так иштетүү цехтерине, ошондой эле жогорку окуу жайларына жана илимий изилдөө мекемелерине ж.б.
Негизги техникалык параметрлери
Беттик микроскопиялык тегиз эместик тереңдигин өлчөө диапазону
Үзгүлтүксүз бетинде, эки чектеш пикселдердин ортосунда 1/4 толкун узундугунан ашкан бийиктиктин кескин өзгөрүүсү болбогондо: 1000-1nm
Эки чектеш пикселдин ортосундагы толкун узундугунун 1/4 бөлүгүнөн ашкан бийиктик мутация болгондо: 130-1нм
Өлчөөнүн кайталанышы: δRa ≤0.5nm
Объективдүү линзанын чоңойтуусу: 40X
Сандык диафрагма: Φ 65
Иш аралыгы: 0,5 мм
Аспаптын көрүү талаасы Визуалдык: Φ0,25мм
Сүрөт: 0,13×0,13 мм
Аспаптын чоңойтулган көрүнүшү: 500×
Сүрөт (компьютер экранында байкалган) -2500×
Алуучу өлчөө массиви: 1000X1000
Пикселдин өлчөмү: 5,2×5,2µm
Өлчөө убактысы үлгү алуу (сканерлөө) убактысы: 1S
Аспаптын стандарттык күзгү чагылдыруусу (жогорку): ~50%
Рефлексия (төмөн): ~4%
Жарык булагы: ысытуу лампа 6V 5W
Жашыл интерференция чыпкасы толкун узундугу: λ≒530nm
Жарым туурасы λ≒10нм
Негизги микроскоп көтөрүү: 110 мм
Стол көтөрүү: 5 мм
X жана Y багытындагы кыймыл диапазону: ~10 мм
Иш столунун айлануу диапазону: 360°
Жумушчу үстөлдүн кыйшаюу диапазону: ±6°
Компьютер системасы: P4, 2.8G же андан көп, 1G же андан көп эс тутуму бар 17 дюймдук жалпак экрандуу дисплей